上證報中國證券網(wǎng)訊(記者韓遠飛)4月29日，中科儀正式在北交所上市。公司本次發(fā)行價格為16.21元/股，開盤價為61元/股。
資料顯示，中科儀是國內(nèi)領先的半導體（881121）制造設備核心部件提供商及真空科學儀器設備供應商，主營業(yè)務為干式真空泵和真空科學儀器設備的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售，及相關技術服務。公司募集資金約8.25億元，擬投資項目為干式真空泵產(chǎn)業(yè)化建設項目、高端半導體設備（884229）擴產(chǎn)及研發(fā)中心建設項目、新一代干式真空泵及大抽速干式螺桿泵研發(fā)項目。
作為中國科學院下屬專注于潔凈真空、超高真空技術研究和發(fā)展的企業(yè)，公司擁有真空技術裝備國家工程研究中心、國家真空儀器裝置工程技術研究中心、國家企業(yè)技術中心三個國家級研發(fā)平臺，是我國真空技術及真空類科學儀器攻堅的主力軍；公司及其前身先后獲國家科學技術進步特等、一等、二等、三等獎共6項。
干式真空泵領域，公司的干式真空泵產(chǎn)品滿足14nm先進邏輯芯片以及128層及以上3D NAND等存儲器工藝的生產(chǎn)需要，已在中國各領先晶圓制造企業(yè)實現(xiàn)大批量應用，廣泛支持國內(nèi)主流晶圓制造企業(yè)，以及客戶A等國內(nèi)主流集成電路設備制造企業(yè)，并已通過臺積電（TSM）(TSM)、大連Intel、SK海力士的測試驗證實現(xiàn)小批量出貨。除硅基半導體（881121）外，公司干式真空泵產(chǎn)品也可廣泛應用于碳化硅、砷化鎵等化合物半導體（881121）的制備，并已實現(xiàn)批量交付。
真空科學儀器設備領域，公司先后承擔北京正負電子對撞機、蘭州重離子加速器、合肥國家同步輻射裝置、上海三代光源、北京高能同步輻射光源、上海硬X射線自由電子激光裝置等11項國家重大科技基礎設施的建設工作，是我國大科學裝置關鍵真空部件光束線、波蕩器、前端區(qū)等的最主要研制單位，其中公司作為上海光源主要參與者，于2013年獲得國家科技進步獎一等獎。另外，公司前身成功研制了第一臺國產(chǎn)分子束外延設備(MBE)，在科研用MBE設備研制領域居于國內(nèi)領先地位。
